OTF-1250X-R8-III--8英寸三温区回转CVD管式炉系统详细介绍:
OTF-1250X-R8-III是一款8英寸三温区回转CVD管式炉系统。该设备是专为无机化合物的合成制备而设计,可以有效提高物料反应的均匀性,可选合金管材使最高工作温度到达1250℃。可广泛应用于利用CVD法制备电池正负极材料的大规模生产。
技术参数:
管式炉结构
· 开启式管式炉设计方便进行炉管的更换和维修
· 加热元件选用SiC棒
· 三温区加热,总加热长度1170mm
· 炉膛材料选择高纯氧化铝纤维,可以最大程度降低能耗
· 炉管由直流电机驱动进行旋转
· 炉管旋转速度:0-10rpm
· 炉管可倾斜角度:0-15°可调
· 工作电压:208-240VAC,三相(需一50A空气开关)
· 最大功率:30KW
· 产量:每批25kg
加热区以及恒温区
· 三个加热区,每个加热区长度为380mm
· 总加热区长度:1170mm
· 恒温区长度:中心区域800mm(±5℃)(如三温区设置同一温度)
· 两个氧化铝管堵与法兰连接置于炉管两端随炉体转动,防止热量以热辐射的形式损失
两种管材可选进行订购:
· 高纯石英管,最高工作温度:1200℃
石英管尺寸:8.5" OD x 8.1" ID x 63" L
内部焊接有杨料板,使粉体烧结更加充分和均匀
· NiCrAl合金管,最高工作温度:1250℃
合金管尺寸:8" OD x 7" ID x 63" L
密封法兰(可选)
炉管包含一套密封法兰,标准配置如下:
· 采用铰链式法兰(方便进行装卸料)
· 机械压力表(范围-0.1MPa~0.15MPa)
· 不锈钢针阀&1/4’’软管接头,KF25真空接头以及1/4’’接头
· 旋转接头:采用动密封旋转接头,进气口Φ6mm,所有配件都为可旋转配件
· 真空度:10-2Torr(用机械泵)
工作温度
· 连续工作温度:
石英管:400~1100℃
NiCrAl合金管:400~1250℃
· 最大加热/冷却速度:10℃/min
· 温度精度:恒温区±1℃
温控系统
· 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序
· 具有超温及断偶报警功能
· 通信端口:RS485
· 可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)
质量认证
· CE认证
· 所有电器元件(>24V)都通CSA认证 / MET / 过UL
· 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证证
质保期
一年质保期,终生维护(不包含炉管、加热元件和密封圈)
警告
· 炉管内气压不可高于0.02MPa
· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
使用注意事项
· 通过容积式给料器、法兰处采用磁流体密封旋转接头可实现连续喂料
· 采用该设备做CVD实验时,可选购本公司的多路混气系统进行气体精确配比及流量控制