OTF-1200X-80-I-F3LV--1200℃带3通道混气真空管式炉

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商品编号：SD150932891016

商品品牌：合肥科晶材料技术

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商品名称：OTF-1200X-80-I-F3LV--1200℃带3通道混气真空管式炉
品牌：合肥科晶材料技术
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上架时间：2018-06-07 13:22:34

OTF-1200X-80-I-F3LV--1200℃带3通道混气真空管式炉详细介绍：

OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr。

高温炉壳体

采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

技术参数

最大功率	3kw
电压	AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
加热元件	掺钼铁鉻铝，表面涂有氧化锆涂层，可以最大程度的延长仪器的使用寿命
最高工作温度	1200℃
连续工作温度	1100℃
最快升温速率	<= 20 ℃
炉管材质和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加热区长度	400 mm
恒温区长度	150 mm(+/-1 ℃) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
控温系统	PID30段程序化控温
控温精度	+/- 1oC
真空密封系统	两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），最大漏气率6 mtorr/min
真空泵	采用双旋机械泵
防腐型真空计	可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
混气系统	三个浮子流量计(准确率4%FS)
	三路浮子量程分别为
	10-100 cc/min.
	16-160 cc/min.
	25-250 cc/min
	内部安装有一混气罐
尺寸	炉体尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混气系统尺寸: 600x600x597 mm
开门断电	为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
净重	约60kg
运输重量	200
质保期	一年质保期（不包括炉管、加热元件和密封圈的损耗件）
质保期	CE Certificate
运输重量	180 lbs
质量认证	CE认证
	所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
	若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

使用注意事项：

1. 炉管内气压不可高于0.02MPa

2. 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

3. 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

4. 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

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